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本研究旨在開發一閉迴路X、Y軸短行程微/奈米定位系統,系統主要元件包含以有限元素分析設計具位移放大機構之微/奈米定位平台、壓電致動器、光纖干涉儀量測系統、PC等,系統以LabView程式語言撰寫程式…
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微振動結構與稀薄氣體的流固交互作用對實際工業有很大範圍之應用,包括高頻的共振器、硬碟的讀寫頭及高敏感度的力量感測器等。因此藉由探討微振動結構與稀薄氣體薄膜間的流固交互作用,了解微結構之動力行為,將對…